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6JA干涉显微镜
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一、6JA干涉显微镜参数

测量表面光洁度范围

10-14

工作物镜的数值孔径

0.65

工作距离

0.5mm

仪器的视场

目视:φ0.25mm

照相:0.21* 0.15mm

测微目镜放大倍数

目视:500X

照相:168X

测微目镜放大倍数

12.5X

测微鼓分划值

0.01mm

绿色干涉滤色片波长

λ≈5300?

半宽度

Δλ≈100?

工作台升程

5mm

X、Y方向移动范围

≈10mm

旋转运动范围

360?

仪器标准镜高反射率

≈60%

低反射率

≈4%

可调变压器输入电压

220V

输出电压

4V-6V

仪器外形尺寸

270*160*230mm

仪器重量

5公斤

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